Ugrás a tartalomra Ugrás a navigációs menübe

Wafer Aligner

A Wafer Aligner HPA megbízhatóan képes pozicionálni átlátszó, áttetsző és nem fényáteresztő wafereket. Standard, Warpage vagy Edge Contact eljárás: Az új modelljeink néhány másodperc alatt pozicionálják a legkülönbözőbb wafereket 2 hüvelyktől 12 hüvelykig. A waferek központosítását és szögbeállítását három orsóhajtású HIWIN tengely végzi. Az Aligner berendezés modelljétől függően ezt egy X-Y egység vagy egy X-Z egység végzi. Kompakt kialakításuk révén a HPA sorozat berendezései kiválóan integrálhatók bonyolult berendezéskoncepciókba is. A HPA sorozathoz tartozó Wafer Aligner az ISO 3 tisztatérosztályban is használható, így optimálisan alkalmas a félvezetőgyártás alkalmazásaihoz.
8 termék
Típus
Wafermozgatás
Waferméret
Waferanyag
Waferjelölés
Wafervastagság
Wafer-Warpage
Maximális waferofszet
HPA26
 Próżnia (standard) 2", 3", 4", 5", 6" przezroczyste, półprzezroczyste, nieprzezroczyste Flat/Notch 0,4 – 0,8 ± 0,1 4
HPA48
 Próżnia (standard) 4", 5", 6", 8" przezroczyste, półprzezroczyste, nieprzezroczyste Flat/Notch 0,4 – 0,8 ± 0,1 4
HPA812
 Próżnia (standard) 8", 12" przezroczyste, półprzezroczyste, nieprzezroczyste Flat/Notch 0,4 – 0,8 ± 0,1 10
HPA48-W
 Próżnia (Warpage) 4", 5", 6", 8" przezroczyste, półprzezroczyste, nieprzezroczyste Flat/Notch 0,4 – 0,8 ± 1,5 5
HPA812-W
 Próżnia (Warpage) 8", 12" przezroczyste, półprzezroczyste, nieprzezroczyste Flat/Notch 0,4 – 0,8 ± 1,5 10
HPA8-E
 Edge contact 8" przezroczyste, półprzezroczyste, nieprzezroczyste Flat/Notch 0,4 – 0,8 ± 0,1 4
HPA12-E
 Edge contact 12" przezroczyste, półprzezroczyste, nieprzezroczyste Flat/Notch 0,4 – 0,8 ± 0,1 4
HPA612-S
 Próżnia (dla I-Forks) 6", 8", 12" przezroczyste, półprzezroczyste, nieprzezroczyste Flat/Notch 0,4 – 0,8 ± 0,1 4